주요
KRI 홀형 이온원 Gridless
CTI 온보드 IS低温泵
전자기 부상 터빈 분자 펌프
Thermonics 초저온 냉수기
계기계기
완전 자기 부상 터빈 분자 펌프 ATH 1603 M
완전 자기 부상 터빈 분자 펌프 ATH 1600 MT
Thermonics 저온 냉수기 A-80-1700, 공기 냉각
Hakuto 이온 식각기 IBE
Hakuto 이온 식각기 20IBE-J
CTI 온보드® IS 320FX低温泵
미국 KRI 홀 이온 소스 Gridless eH 시리즈
미국 KRI 홀 이온 소스 eH 400
미국 KRI 홀 이온 소스 eH 1000
열음극 진공계 PBR 260 IMR 265
작업 성공!