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제품 상세 정보
미국 KRI 홀 이온 소스 eH 400 제품 특성:
백동KRI홀 이온원eH 400특징:
1.분리형 양극 어셈블리-손쉬운 서비스;유지 보수 시,다운타임 최소화;플러그 앤 플레이 대기 양극
2.광빔 고방전 전류-균일한 식각률;각식 효율이 높다.;고이온 보조 도금막IAD효율성
3.다용도-적용 대상Load lock /초고진공 시스템
4.효율적인 플라즈마 변환 및 안정적인 전력 제어
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