미국 KRI 홀 이온 소스 eH 1000 제품 특징:

백동KRI홀 이온원eH 1000특징:

1.분리형 양극 어셈블리-손쉬운 서비스;유지 보수 시,다운타임 최소화;플러그 앤 플레이 대기 양극

2.광빔 고방전 전류-고전류 밀도;균일한 식각률;각식 효율이 높다.;고이온 보조 도금막IAD효율성

3.다용도-적용 대상Load lock /초고진공 시스템;간편한 설치;물 냉각 불필요

4.효율적인 플라즈마 변환 및 안정적인 전력 제어