Ø 얇은 조각, 분말, 파편, 투명 및 비투명 시료를 포함한 대부분의 시료에 적용되며 시료에 대한 탄소 분사 또는 금 분사 처리가 필요하지 않습니다.
Ø 광물이나 시료를 다양한 크기의 광공으로 미세 영역 분석(최소 50~100μm)할 수 있으며, 빔 반점 크기 조절을 통해 광물 미지의 성분의 평균을 얻을 수 있다.
Ø전자빔은 X선 형광을 자극하는 강도가 높으며, 강도는 X선 자극원의 자극 강도보다 약 4~5개 수량급이며, 분석 민감도가 높고 테스트 시간이 짧다.
Ø 전자빔 입사 시료의 깊이는 매우 얕고 (1~2 μm 정도) 진정한 표면 분석입니다.
Ø 자극된 특징 X선이 탐지된 것 외에 다른 소음 신호가 탐지되지 않아 분석 결과가 더 정확하다
Ø 탐측기가 탐지할 수 있는 원소의 범위는 11(Na)~92(U)이다.특히 Na, Mg, Al, Si, P, S, Cl, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn 등 주량원소를 분석한 결과 민감도가 높고 스펙트럼 중복성이 좋다.
Ø 전체 분석, 내장 진단 기능, 완전 자동 조작, 원클릭 분석 소프트웨어, 간편한 조작.