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제품 상세 정보
제품 소개
· 8인치 및 6인치 실리콘 웨이퍼 표면의 휘발성 성분(유기오염물)을 포집하는 데 사용한다.(SW-8400)
· 12인치 실리콘 웨이퍼 표면의 휘발성 성분(유기오염물)을 포집하는 데 사용한다.(SW-12400)
· 단면 실리콘 결정 휘발성 기체를 포집하여 조작이 간편하다.
· 가열로는 거꾸로 매달리는 방식을 채택하여 웨이퍼 정면에서 발생하는 기체만 포집하여 샘플을 채취한다.
· 12인치 실리콘 웨이퍼 표면의 휘발성 성분(유기오염물)을 포집하는 데 사용한다.(SW-12400)
· 단면 실리콘 결정 휘발성 기체를 포집하여 조작이 간편하다.
· 가열로는 거꾸로 매달리는 방식을 채택하여 웨이퍼 정면에서 발생하는 기체만 포집하여 샘플을 채취한다.
・가열로는 최고 500℃까지 가열할 수 있다.
· 가열로 봉인은 O형 고리(폴리아민 재질)로 밀봉하여 누출이 없습니다.
・일반적으로 PAT(내용적 10ml, 2.5g Tenax GR 채우기)로 가스를 포집한다.다른 공장의 상응하는 포집 샘플링관을 선택하여 샘플링을 진행할 수도 있다.
· 가열로 봉인은 O형 고리(폴리아민 재질)로 밀봉하여 누출이 없습니다.
・일반적으로 PAT(내용적 10ml, 2.5g Tenax GR 채우기)로 가스를 포집한다.다른 공장의 상응하는 포집 샘플링관을 선택하여 샘플링을 진행할 수도 있다.
・냉각수 순환장치를 갖추다.
· 과열 방지 장치, 잠금 안전 장치, 급정지 버튼, 누수 센서(옵션) 등 안전 방지 장치를 갖추고 있다.
· 과열 방지 장치, 잠금 안전 장치, 급정지 버튼, 누수 센서(옵션) 등 안전 방지 장치를 갖추고 있다.
기술 매개변수
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방식
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거꾸로 매달리는 방식
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포집 실리콘 웨이퍼 크기
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8"또는 6", 5"이하에서 확장 루프 추가(12400형, 12")
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O형 고리
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봉인부 직경 220mm(폴리아민)
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석영 가열로
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투명 석영 소재
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가열로 가열 방식
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상판・하판 독립가열방식
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가열로 사용 온도
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일반 400 ℃ (최대 500 ℃)
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가열로 냉각
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냉각수 순환장치
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인슐레이션 파이프
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내표면 타성화 도금층 처리
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바람을 쐬다
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보통 질소 가스, 최대 사용량 500ml/min
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과열 방지 장치
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전류 15A, 유도 전류 30mA
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급정지 버튼
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빨강, 버섯형
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안전장치
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연쇄 구조
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가압 방식
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모터 드라이브
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장치 크기
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1140(W)×1106(H)×750(D)mm
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무게
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280Kg
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전원 공급 장치
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단상 AC200V, 15A·AC100V, 20A
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표준 첨부:
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PAT(1레벨 흡착관):
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2개 (다른 회사 포집관과는 별도)
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PAT 랙
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1개 (다른 회사 포집관과 불일치)
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PAT 어댑터
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1개 (다른 회사 포집관과 함께 사용)
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O형 고리
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2개
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냉각수 순환장치
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1개 (표준 배관 포함)
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인슐레이션 파이프
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1개
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가스 배관
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1세트 (1/16"-1/8")
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케이블
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1세트
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도구
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1세트
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작업 명세서
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1권
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*SW-12400 모델의 기술 사양은 문의하십시오.
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