제품 기능 소개:

플라즈마 세척 기술은 약 30 년 전의 반도체 산업에서 시작되었으며 플라즈마 세척은 주로 샘플 표면의 탄화수소를 세척하는 데 사용됩니다.플라즈마 세척의 핵심 요점은 샘플 자체의 화학 구성을 바꿀 수 없다는 것입니다.샘플의 구조적 특징을 변경할 수 없습니다.샘플 표면을 손상시키면 안 됩니다.
SOLARUS - TEM 및 SEM 샘플대 또는 샘플에 대한 탄화수소의 오염을 제거하는 새로운 첨단 플라즈마 세척 시스템.Solarus는 차세대 플라즈마 시스템으로 새로운 개념과 기술을 개조하여 더욱 우수한 성능과 조작이 간편하고 좋은 세척 효과를 가지게 되었다.Solarus는 시중에 나와 있는 다른 어떤 플라즈마 세척체 시스템보다 효과적인 세척 효과를 제공할 수 있다.

브랜드 소개:

미국 GATAN사는 1964년에 설립되어 70년대 말에 중국 시장에 진출했다.GATAN사는 제품의 고성능과 기술의 선진성으로 전 세계 전경계에서 매우 높은 명성을 누리고 있다.

세계 최고의 디자인 및 제조 전자 현미경 기능 강화 및 확장을 위한 액세서리 제조업체로서 샘플 제조에서 이미징, 분석에 이르기까지 모든 단계에 대한 요구를 충족하는 제품입니다.제품 응용 범위는 재료 과학, 생명 과학, 지구 물리학, 전자학, 에너지 과학 등 분야를 포함하며, 고객 범위는 전 세계의 과학 연구소, 대학교, 각종 검측 기관 및 대형 공업 기업 실험실을 포함하며, 국제 과학 연구 분야에서 광범위한 인정을 받았다.

딜러 소개:

오보동유한회사는 중국의 선도적인 마이크로나노기술서비스공급업체로서 외자기업을 투자배경으로 하는 첨단기술기업으로서 총부는 향항에 위치해있으며 각기 북경, 상해, 료녕, 산동 등지에 지사와 판사처를 설치하고있다.싸이머페이 전자현미경, GATAN 스캔 전자현미경 샘플링 설비 및 부속 분석 설비의 중국 지역의 중요한 전략적 합작 파트너로서 회사는"국내 영향력의 기기 판매 브랜드 구축"의 경영 이념을 계승하여 싸이머페이, GATAN 브랜드와 강대강 연합하여 수만 명의 중국 사용자에게 고품질의 제품과 국제 기술 서비스를 제공하고 있다.

주요 특징:

솔라루스는 플라즈마 레시피를 이용하여 홀리 탄소막을 포함한 모든 샘플에 대해 더 빠르고 철저한 세척 효과를 제공하는 독특한 세척 솔루션이다.이 장비는 표면에 쌓인 오염 물질을 안전하게 세척할 수 있어 이미 오염된 시료에 대한 관찰 시간을 넓힐 수 있다.분자 펌프와 다단계 격막 펌프를 결합한 진공 시스템은 빠르고 신뢰할 수 있는 공기 흡입 효과를 확보할 수 있다.1 분 미만의 공기 흡입과 방기 시간, 30 초-2 분의 세척 시간, 전체 과정은 2 분이 걸리지 않습니다.

플라즈마 세척의 이점:

이미지 성능 향상

요소 분석의 정확성 향상

SEM에서 EDX 및 EBSD의 관찰 및 수집 시간 연장

TEM/STEM의 STEM 및 EELS 분석에는 더 작은 번들 반점을 사용할 수 있습니다.

제품 주요 기술 매개 변수:

무선 소스: 전력 자동 매칭 기능을 갖춘 50W 무선 전원 공급 장치

진공 시스템: 분자 펌프 70L/s 및 2단 분리막 펌프

기압: 5E-6 Torr 기본 압력, 400mTorr 작동 압력

진공 게이지: 컴팩트한 필라니 게이지

객실:

2개의 전면 인터페이스는 TEM 어댑터를 마운트할 수 있으며, 측면 플러그 TEM 샘플 스틱과 SEM 샘플 스틱을 마운트할 수 있습니다.

상단 입구는 SEM 샘플대, 현미경 경통 부품 또는 각종 진공 부품을 넣는 데 사용된다

객실 크기는 3.5"지름 x 2.0"깊이

전면 관찰창은 작업 시 플라즈마 발광을 관찰할 수 있다

내장된 솔레노이드 밸브는 선실과 진공 펌프 사이를 분리하여 진공 흡입 시간이 1분 미만이고 방기 시간이 5초 미만이다.

가스 제어: 정확한 품질 유량계를 사용하여 가스 유량을 측정 및 제어합니다.

가스 종류: 3방향 독립 가스 (H2, O2 및 Ar) 사용

세척 레시피: H2/O2 레시피와 같은 일련의 레시피가 포함되어 있으며 사용자 정의 레시피를 지원합니다

사용자 인터페이스: 대화형 터치 스크린으로 중국어, 영어 등 다양한 언어로 구성된 인터페이스 제공

전원: 범용 전압/주파수 100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W

Solarus의 주요 이점은 기존의 플라즈마 세척기에 비해 다음과 같습니다.

1) 고유한 H2/O2 레시피

2) 빠른 세척 주기 (2분 미만)

3) 대화형 터치스크린 디자인

4.) 테스트를 거친 7가지 원클릭 조작식 레시피 제공

5.) 측면 플러그 TEM 및 SEM 샘플 스틱을 마운트하기 위한 전면 샘플 2개

6.) 상단 스플라인은 TEM 마이크로 그리드 또는 SEM 샘플대 / 샘플을 여러 개 (>25) 마운트할 수 있음

7.) 자동 매칭 전력의 무선 주파수 소스는 플라즈마 소스의 장시간 안정성을 보장합니다.

8) 정확한 가스 흐름 제어 (질량 유량계)

9) 작은 손상의 세척 홀리 탄소막

10.) 다양한 언어 지원 (영어, 중국어, 일본어, 한국어, 프랑스어, 독일어)

주요 제품 용도:

TEM 및 SEM 샘플대 또는 샘플에 대한 탄화수소 오염 제거