1. 용도

ZXGP-500 시리즈 명암장 실리콘 칩 검사 현미경은 태양전지 실리콘 칩에 대한 현미경 관찰에 적합하다.이 기기는 큰 이동 범위의 적재대, 낙사 조명기, 긴 작업 거리의 평장 소색 차물경, 큰 시야 안경을 갖추고 있으며, 이미지가 선명하고 라이닝이 좋으며, 동시에 편광 장치와 고화소의 디지털 카메라를 갖추고 있다.이 기기는 암장물경을 장착하여 실리콘 조각을 관찰할 때 이미지를 더욱 뚜렷하게 하고 태양전지 실리콘 조각을 검측하는'피라미드'의 미시적 형태 분포 상황과 실리콘 조각의 결함 분석에 이상적인 기기이다.

실리콘 칩 검측 현미경은 육안으로 관측하기 어려운 위치 착오, 스크래치, 붕변 등을 관찰할 수 있다;실리콘 조각의 불순물, 잔류물 성분에 대해서도 분석할 수 있다.불순물은 입자, 유기 불순물, 무기 불순물, 금속 이온, 실리콘 가루 분진 등을 포함하며, 연마 후의 실리콘 조각은 쉽게 변화, 파랑, 검게 변하는 등의 현상이 발생하여 연마편을 불합격시킨다.태양전지 실리콘 조각 생산 과정에서 자주 사용하는 검측 기기 중의 하나이다.

기술 표준