Park Systems 원자력 현미경 XE-15

기기 소개:

Park XE-15는 포괄적인 샘플 호환성을 제공합니다.그 여러가지 견본대는 부동한 사이즈, 형상, 수량의 견본에 편리하고 믿음직한 시험환경을 제공하도록 설계되였다.결합을 해결하는 닫힌 루프 XY 스캐너는 벤드 효과 오차를 제거하고 선형도를 제공합니다.진정한 비접촉 스캔 모드는 적합한 샘플 종류를 확대하는 동시에 탐침의 수명을 크게 연장하고 사용 원가를 낮춘다.

Park Systems 원자력 현미경 XE-15 기술 매개 변수:

스캐너

XY 스캐너

유연성 유도 폐쇄 고리 제어 단일 모듈 스캐너

스캔 범위 100μm*100μm(50μm*50μm 옵션)

평면 오프셋: <2nm(40μm*40μm 스캔)

Z 스캐너

유연성 유도 강력 스캐너

스캔 범위 12 μm (25 μm 옵션)

공명 주파수: > 5kHz

표면 이미징 노이즈: 0.03nm

견본대

샘플대 종류: 16비트 샘플대 / 150mm 직경 진공 흡착대 (200mm 직경 진공 흡착대 옵션)

샘플 크기: 150mm*150mm*20mm

샘플 무게: zui 큰 500g

샘플대 이동 범위: 150mm*150mm(200mm*200mm 옵션)

주요 특징:

1. 혁신적인 여러 샘플대 설계로 작업 효율 제공

● 한 번의 조작으로 Zui는 16개의 샘플을 더 스캔할 수 있다

● 샘플 배치가 간단하고 스캔이 빠르다

● 데이터 정확성 및 중복성 극대화

2. 초대형 샘플을 지원하여 업계 발전 수요를 만족시킨다

● zui는 200mm 웨이퍼를 크게 지원하여 사용자의 현재와 향후 요구를 만족시킨다

● 반도체 관련 사용자의 실제 요구를 충족하는 특화 설계

3. 풍부한 기능 모델 선택

● 다양한 SPM 기능 지원

● 다양한 옵션 측정 모드 지원

● 다양한 옵션 액세서리를 지원하여 뛰어난 확장성