OTL-PECVD-1200PECVD 시스템은 OTL1200 진공관식로, 석영 진공실, 무선 주파수 전원, GX 가스 공급 시스템, 공기 흡입 시스템, 진공 측정 시스템으로 구성된다.

주요 특징:

1. 무선 주파수 전원을 통해 석영 진공 실내의 기체를 이온 상태로 변화시킨다.

2. PECVD는 일반 CVD보다 화학기상침적을 하는 데 필요한 온도가 더 낮다.

3. 무선 주파수 전원의 주파수를 통해 퇴적된 박막의 응력 크기를 제어할 수 있다.

4. PECVD는 일반 CVD보다 화학기상침적속도가 높고 균일성이 좋으며 일치성과 안정성이 높다.

5. 광범위하게 응용: SiOx, SiNx, SiOxNy 및 무정형 실리콘 (a-Si:H) 등과 같은 다양한 박막의 성장.

OTL-PECVD-1200 PECVD 시스템은 스웨덴 Kanthal 저항사를 가열 부품으로 하고 이중 하우징 구조와 30단 프로그램 온도 제어 계기, 위상 트리거, 실리콘 제어 제어, 용광로 안은 산화알루미늄 다결정 섬유 재료, 용광로 관 양쪽 끝은 스테인리스강 플랜지 밀봉, 스테인리스강 플랜지에 공기 주둥이, 밸브와 압력계를 설치하여 진공을 뽑을 때 진공도가 10-3, 온도 상승, 낮은 온도 상승 등 장점을 가지고 있다.

(3) 저항의 균형, 온도의 균형이 좋다

(4), 가열 부품: 스웨덴 Kanthal A1 수입 저항사(저항사는 2년 보증 가능)

회로가 과류하거나 누전될 때, 빈 회의는 자동으로 끊어진다

이 난로는 통신 인터페이스와 소프트웨어를 장착하여 컴퓨터를 통해 난로의 각 매개변수를 직접 제어할 수 있으며, 컴퓨터에서 난로의 PV와 SV 온도 값과 계기의 운행 상황을 관찰할 수 있으며, 난로의 실제 온도 상승 곡선은 컴퓨터가 실시간으로 그리고 매 순간의 온도 수를 보존할 수 있으며, 언제든지 진공도를 조절할 수 있다.

(2), 일본 기술로 성형한다.

(3)、용광로 안의 저항사의 간격과 간격은 모두 일본 최고의 열공 기술로 배치하고 열공 소프트웨어를 통해 온도장을 시뮬레이션한다.

(4)、4주간 가열하여 온도장 더욱 균형

(전체 UL 인증 수입 가전제품)