OTL-PECVD-1200-1400-1200 삼온구 PECVD 시스템은 슬라이더식 진공관식 난로 3대, 석영 진공실, 무선 주파수 전원, GX 가스 공급 시스템, 공기 흡입 시스템, 진공 측정 시스템, 전동 드래그 기구로 구성되어 있다.

주요 특징:

1. 무선 주파수 전원을 통해 석영 진공 실내의 기체를 이온 상태로 변화시킨다.

2. PECVD는 일반 CVD보다 화학기상침적에 필요한 온도가 낮다

3. 무선 주파수 전원의 주파수를 통해 퇴적된 박막의 응력 크기를 제어할 수 있다

4. PECVD는 일반 CVD보다 화학기상침적속도가 높고 균일성이 좋으며 일치성과 안정성이 높다.

5. 광범위하게 응용: SiOx, SiNx, SiOxNy 및 무정형 실리콘 (a-Si:H) 등과 같은 다양한 박막의 성장.

이 삼온구 PECVD 시스템은 빠르게 가열, 냉각할 수 있는 PECVD 시스템으로 세 대의 파이프 스토브에 한 쌍의 전기 레일을 설치하여 전기 슬라이딩 시스템을 사용할 수 있다.가열 및 냉각 속도는 최대 100°C/min입니다.가장 빠른 가열을 얻기 위해, 미리 난로를 설정된 온도로 가열한 다음, 난로를 샘플 품위로 이동할 수 있다설치하다.가장 빠른 냉각을 위해 시료를 가열한 후 난로를 다른 쪽으로 이동할 수 있다.가열 및 냉각 속도는 진공 또는 불활성 가스 환경에서 달성할 수 있습니다.10°C/s는 저렴한 비용으로 빠르게 가열, 냉각할 수 있는 2온대 PECVD 시스템입니다.

이 삼온구 PECVD 시스템은 스웨덴 Kanthal 저항사와 실리콘 탄소봉을 가열 부품으로 하고, 이중 하우징 구조와 30단 프로그램 온도 제어 계기, 위상 이동 트리거, 실리콘 제어 제어, 용광로 안은 일본 수입 산화 알루미늄 다결정 섬유 재료, 용광로 관 양쪽 끝은 스테인리스강 플랜지 밀봉, 스테인리스강 플랜지에 공기 주둥이, 밸브 설치압력계, 진공을 뽑을 때 진공도는 10-3Pa에 달할 수 있다. 두 개의 온도 구역으로 나뉜다. 두 개의 온도 구역은 독립적으로 제어할 수 있고 서로 다른 온도를 설치할 수 있다. 사용이 편리하고 조작이 간단하다. 이 난로는 온장 균형, 표면 온도가 낮고 승강 온도 속도가 빠르며 에너지 절약 등 장점을 가지고 있다. 대학교, 과학연구원, 공광기업이 고온 분위기를 태우는 것이다 그래핀을 결, 생장하고 각종 박막을 생장하는 이상적인 제품.

(1), 실리콘 탄소 막대의 열단 굵기 d는 14mm, 일반 업체가 사용하는 12MM, 가열단이 굵고 쉽게 구부러지지 않으며 막대의 표면 부하가 낮고 사용 수명이 길다.

（2)、m 냉단의 길이는 210mm이고 일반 공장은 180mm를 사용하며 냉단의 긴 용광로 꼭대기의 온도는 낮다.

(3), 실리콘 탄소봉 표면은 산화 비결정막이 치밀하여 탄소봉을 비교적 잘 보호할 수 있다.

회로가 과류하거나 누전될 때, 빈 회의는 자동으로 끊어진다

이 분위기 튜브식 난로가능통신 인터페이스와 소프트웨어가 장착되어 있어 컴퓨터를 통해 난로의 각 매개변수를 직접 제어할 수 있으며 컴퓨터에서 난로의 PV와 SV 온도 값과 계기의 운행 상황을 관찰할 수 있다. 난로의 실제 온도 상승 곡선은 컴퓨터가 실시간으로 그려내고 매 순간의 온도 데이터를 보존할 수 있으며 언제든지 조절할 수 있다

(1), 진공 흡입 여과 성형의 양질의 고순도 산화 알루미늄 다결정 섬유 경화 용광로.
(2), 일본 기술로 성형한다.
(3), 용광로 재료는 열용량이 낮고 열전도 계수가 낮기 때문에 열을 적게 방출하고 보온이 좋으며 반사율이 높다.온장 균형.
(4)、용광로 속의 산화알루미늄 실은 가늘고 길며 내온성이 높고 열과 냉축에 강하다.
(5) 용광로의 표면이 깨끗하고 가루가 잘 떨어지지 않는다.

(전체 UL 인증 수입 가전제품)