CVD 시스템은 가스 공급 시스템 + 파이프 용광로 + 공기 흡입 시스템으로 최고 온도는 1200도, 1400도, 1600도, 1700도에 달할 수 있으며, 가열 구간은 단온 구역, 이온 구역, 삼온 구역 등일 수 있고, 극한 진공은 10-3Pa에 달할 수 있으며, 가스 공급 시스템은 유량 조절은 양성자 유량계 또는 부동자 유량계일 수 있으며, 혼합 가스 노수는 2로, 3로, 4로, 5번, 5번이 혼합될 수 있다.
KTL-CVD-1400 단온구 CVD 시스템 시스템은 3단 가스 공급 시스템 + KTL1400 튜브형 난로 + 진공 시스템으로 구성된다.
(1), 실리콘 몰리브덴 막대의 열단 굵기 D1은 7mm, 일반 업체가 사용하는 6MM, 가열단이 굵고 쉽게 구부러지지 않으며 막대의 표면 부하가 낮고 사용 수명이 길다.
(2) 열굽힘 기술을 사용하여 저항이 균일하고 사용 수명이 길다
(3), Lu 냉단 길이는 210mm, 400X300X300 난로는 260, 일반 공장은 180mm, 냉단 긴 난로 꼭대기 온도는 낮다.
(4), 실리콘 몰리브덴 막대 표면은 산화 비정막이 치밀하여 실리콘 몰리브덴 막대를 비교적 잘 보호할 수 있다.
회로가 과류하거나 누전될 때, 빈 회의는 자동으로 끊어진다
이 분위기 튜브식 난로가능통신 인터페이스와 소프트웨어가 장착되어 있어 컴퓨터를 통해 난로의 각 매개변수를 직접 제어할 수 있으며 컴퓨터에서 난로의 PV와 SV 온도 값과 계기의 운행 상황을 관찰할 수 있다. 난로의 실제 온도 상승 곡선은 컴퓨터가 실시간으로 그려내고 매 순간의 온도 데이터를 보존할 수 있으며 언제든지 조절할 수 있다
(1), 진공 흡입 여과 성형의 양질의 고순도 산화 알루미늄 다결정 섬유 경화 용광로.
(2), 일본 기술로 성형한다.
(3), 용광로 재료는 열용량이 낮고 열전도 계수가 낮기 때문에 열을 적게 방출하고 보온이 좋으며 반사율이 높다.온장 균형.
(4)、용광로 속의 산화알루미늄 실은 가늘고 길며 내온성이 높고 열과 냉축에 강하다.
(5) 용광로의 표면이 깨끗하고 가루가 잘 떨어지지 않는다.
(전체 UL 인증 수입 가전제품)