히타치 하이테크놀로지는 2016년 4월 15일 새로운 스캔 전자 현미경인 FlexSEM 1000을 전 세계에 발표했다.이 제품은 구조가 치밀하고 부지면적이 작지만 해상도가 대형선글라스에 뒤지지 않으며 동시에 조작이 극히 간편하여 거의 훈련하지 않고도 조작할수 있다.컴팩트한 디자인에 해상도는 4nm.
전자현미경을 스캔하면 재료의 표면에 대해 고배율 관찰 및 고정밀 원소 분석을 할 수 있으며 나노기술, 생명과학, 제품 설계 연구 개발 및 실효 분석 등 분야에서 광범위하게 응용되고 있다.최근 몇 년 동안 스캐닝 렌즈는 표면의 정교한 구조와 원소 분석을 관찰하는 수요가 날로 증가하고 있으며, 점점 더 많은 사용자들이 생산 라인, 제품 보험 검사 라인과 사무 구역 등 제한된 공간에서 스캐닝 전자 현미경을 사용할 수 있기를 희망하고 있다.이에 따라 크기가 작고 조작이 간편하며 해상도가 높은 스캔 전자현미경이 주목받고 있다.FlexSEM 1000 호스트는 폭 450mm, 길이 640mm로 SU1510 모델에 비해 부피가 52%, 무게가 45%, 전력 소비량이 50% 줄어들며 표준화된 전원 인터페이스가 장착되어 있습니다.호스트와 전원 공급 장치를 분리할 수 있어 설치가 매우 유연합니다.
FlexSEM 1000은 최신 디자인의 전자 광학 시스템과 고신뢰성, 고감도 탐지기로 해상도가 4nm에 달한다. FlexSEM 1000은 다양한 자동화 기능을 갖추고 있어 조작이 간편해 초보자도 고품질 이미지를 빠르게 찍을 수 있다.또 새롭게 개발한 내비게이션 기능인'SEM MAP'은 다양한 광학 사진이나 선글라스 사진을 이용해 내비게이션을 할 수 있으며, 버튼 한 번으로 관심 있는 고배율 시야로 빠르고 정확하게 전환할 수 있다.

특징:

a. 고감도 2차 전자 탐지기, 백산란 탐지기, 저진공 탐지기 (UVD) 통과^*2), 저가속 전압 / 저진공에서 고품질 이미지 관찰

b. 조작이 간편하여 초보자도 고품질의 사진을 찍을 수 있다

c. 새로운 탐색 기능 "SEM MAP"으로 시야를 빠르게 잠글 수 있음

d. 큰 창(30mm²) 요소 성분을 신속하게 분석하기 위한 SDD 스펙트럼 시스템^*2

*1 데스크탑에 설정할 때 호스트 및 전원 공급 장치 엔클로저 분리

*2 옵션

프로젝트		내용
분해 에너지*3		4.0 nm @ 20 kV(SE: 고진공 모드) 15.0 nm @ 1 kV(SE: 고진공 모드) 5.0 nm @ 20 kV(BSE: 저진공 모드)
가속전압		0.3 kV ～ 20 kV
배율 확대		6 × ~ 300000 × (섀시 배율) 16 × ~ 800000 × (표시 배율)
저진공 모드		진공 범위: 6~100Pa
전자총		예비 중텅스텐 필라멘트
견본대		3-축 자동모터대 X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90°
최대 샘플 크기		지름 80mm
최대 샘플 높이		40 mm
치수		호스트: 450(W) x 640(D) x 670(H) mm 전원 공급 장치: 450(W) x 640(D) x 450(H) mm
탐지기 옵션		고감도 저진공 2차 전자탐지기(UVD) 에너지 분산형 X선 탐지기(EDS)