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>제품>D07-19 질량 유량 컨트롤러 & 유량계
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D07-19 질량 유량 컨트롤러 & 유량계
D07-19는 열식 질량유량계로, 질량유량제어기는 각종 기체를 측정하고 제어하는 데 응용할 수 있으며, 측정 외에 기체의 질량유량도 정밀하게 제어할 수 있으며, 질량유량계(MFM)는 기체의 질량유량을 정밀하게 측정할 수 있다.D07-19 제품은 칠성유량계 개발 정밀도가
제품 상세 정보

특징

• 고정밀, 빠른 응답성
• 고무 밀봉, 아날로그 회로용 MFC
• DB15형 전기 플러그, 국제 표준 기계식 커넥터
• 국제 호환

기술 매개변수

프로젝트

D07-19B

D07-19BM

D07-19F

D07-19FM형

트래픽 사양

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

0~1,2,3,5,10,20,30 SLM

정확도

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

선형

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)

반복 정밀도

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

응답 시간

≤2 sec

≤2sec

≤4 sec

≤4 sec

작업 압차 범위

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
>10SLM: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
>10SLM: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

기압강하

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

최대 작업 부담

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

내압

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

작업 환경 온도

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

입출력 신호

0 V ~ +5.00 V
(입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)

0 V ~ +5.00 V
(입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)

4~20mA 또는 1~5VDC

4~20mA 또는 1~5VDC

전원 공급 장치

+15 V 50 mA
-15V 200 mA

+15 V 50 mA
-15 V 50 mA

24 VDC 100 mA

24 VDC 100 mA

무게

0.95 kg

0.7 kg

1.2 kg

1 Kg

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