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>제품>D07-11 품질 트래픽 컨트롤러 & 유량계
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D07-11 품질 트래픽 컨트롤러 & 유량계
D07-11은 열식 질량유량계로, 질량유량제어기는 각종 기체를 측정하고 제어하는 데 응용할 수 있으며, 측정 외에 기체의 질량유량을 정밀하게 제어할 수 있으며, 질량유량계(MFM)는 기체의 질량유량을 정밀하게 측정할 수 있다.D07-11 제품은 칠성유량계가 개발한 고압
제품 상세 정보

특징

• 높은 내압성

• 고무 밀봉, 아날로그 회로용 MFC

• DB15형 전기 플러그, 국제 표준 기계식 커넥터

• CE 인증, 국제 호환

기술 매개변수

번호 지정

프로젝트

D07-11C

D07-11CM

1

트래픽 사양

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

2

정확도

±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

3

선형

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

4

반복 정밀도

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

5

응답 시간

전기 특성: 10 sec 가스 특성: ≤ 4 sec

6

최대 작업 부담

10 MPa

-

7

기압강하

-

< 0.02 MPa

8

작업 압차 범위

≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa
>10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa

-

9

내압

10 MPa

10 MPa

10

작업 환경 온도

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

11

입출력 신호

0 V ~ +5.00 V
(입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)

12

전원 공급 장치

+15 V 50 mA
-15V 200 mA

13

폼 팩터 크기

자세한 내용은 그림 4 참조

14

무게

1.2kg

1kg

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