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CS100 품질 트래픽 컨트롤러 & 유량계
CS100 제품은 칠성유량계 CS 시리즈 제품 기술 플랫폼을 기반으로 개발되었으며, 항구 전력 센서 기술, 디지털 센서 균형 기술, VCP 라인 제어 기술을 바탕으로 고객 맞춤형 설계를 채택하여 고객은 필요에 따라 자신의 요구에 부합하는 제품을 선택할 수 있으며, 동시
제품 상세 정보

이점

• CS100 제품은 고객 맞춤형 설계를 통해
• 고객은 필요에 따라 ±15V 듀얼 전원 공급 장치 또는 +24 단일 전원 공급 장치를 선택할 수 있습니다.
• 금속 또는 고무 밀봉
• 제품 사이즈는 국제적으로 통용되는 SEMI 표준에 부합하는 제품과 긴축형 제품을 선택할 수 있다.

기술 매개변수

CS100

모델

CS100A

CS100D

밸브 유형

상폐

없음

상폐

없음

트래픽 사양(N2)

(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

정확도

±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.)

선형

±0.5% F.S.

반복 정밀도

±0.2% F.S.

응답 시간

≤ 1sec

작업 압차 범위

0.05~0.35MPa;트래픽 사양 ≤ 10SLM
0.1~0.35MPa ;10<트래픽 사양≤30SLM
0.25~0.45MPa ;30<트래픽 사양≤50SLM

<0.02 MPa

0.05~0.35MPa;트래픽 사양 ≤ 10SLM
0.1~0.35MPa;10<트래픽 사양≤30SLM

<0.02 MPa

온도계수

0점: ≤±0.05% F.S/℃;조절 시: ≤±0.1% F.S/℃

내압

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

누락률

1×10-9Pa·m3/ sec He(1×10-8atm·cc / sec He)

밀봉 재료

불소고무

금속 밀봉

최대 작업 부담

0.45MPa

작업 환경 온도

(5~45)℃

입력 신호

시뮬레이션:
(0~5)VDC

숫자: RS485

없음

없음

시뮬레이션:
(0~5)VDC

숫자: RS485

없음

없음

출력 신호

시뮬레이션:
(0~5)VDC

숫자: RS485

시뮬레이션: (0~5) VDC

숫자: RS485

시뮬레이션:
(0~5)VDC

숫자: RS485

시뮬레이션:
(0~5)VDC

숫자: RS485

전원 커넥터 형식

D형 9핀
양접선;

D형 15핀
양접선

D형 9핀
양접선;

O형 3핀
양접선

D형 15핀
양접선

D형 9핀
양접선;

D형 15핀
양접선

D형 9핀 양커넥터;

O형 3핀 양커넥터

D형 15핀 양커넥터

D형 9핀
양접선;

D형 15핀
양접선

D형 9핀
양접선;

O형 3핀
양접선

D형 15핀
양접선

D형 9핀
양접선;

D형 15핀
양접선

D형 9핀 양커넥터;

O형 3핀 양커넥터

D형 15핀 양커넥터

전원 공급 장치

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

자동 제로

지원

표면 거친도

25μinch Ra

표준 조인트 형식

듀얼 카드 커버6;듀얼 카드 커버3;듀얼 카드 세트 1/4´;듀얼 카드 세트 1/8´;

VCR1/4´양 커넥터;

6 (내) x 1 호스 커넥터;5(내)x1.5 호스 커넥터;4(내)x1 호스 커넥터

VCR1/4"양 커넥터

무게

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

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