이점
• CS100 제품은 고객 맞춤형 설계를 통해
• 고객은 필요에 따라 ±15V 듀얼 전원 공급 장치 또는 +24 단일 전원 공급 장치를 선택할 수 있습니다.
• 금속 또는 고무 밀봉
• 제품 사이즈는 국제적으로 통용되는 SEMI 표준에 부합하는 제품과 긴축형 제품을 선택할 수 있다.
기술 매개변수
CS100 |
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모델 |
CS100A |
CS100D |
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밸브 유형 |
상폐 |
없음 |
상폐 |
없음 |
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트래픽 사양(N2) |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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정확도 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
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선형 |
±0.5% F.S. |
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반복 정밀도 |
±0.2% F.S. |
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응답 시간 |
≤ 1sec |
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작업 압차 범위 |
0.05~0.35MPa;트래픽 사양 ≤ 10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa;트래픽 사양 ≤ 10SLM |
<0.02 MPa |
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온도계수 |
0점: ≤±0.05% F.S/℃;조절 시: ≤±0.1% F.S/℃ |
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내압 |
3MPa |
10MPa |
3MPa |
10MPa |
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누락률 |
1×10-9Pa·m3/ sec He(1×10-8atm·cc / sec He) |
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밀봉 재료 |
불소고무 |
금속 밀봉 |
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최대 작업 부담 |
0.45MPa |
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작업 환경 온도 |
(5~45)℃ |
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입력 신호 |
시뮬레이션: |
숫자: RS485 |
없음 |
없음 |
시뮬레이션: |
숫자: RS485 |
없음 |
없음 |
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출력 신호 |
시뮬레이션: |
숫자: RS485 |
시뮬레이션: (0~5) VDC |
숫자: RS485 |
시뮬레이션: |
숫자: RS485 |
시뮬레이션: |
숫자: RS485 |
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전원 커넥터 형식 |
D형 9핀 D형 15핀 |
D형 9핀 O형 3핀 |
D형 15핀 |
D형 9핀 D형 15핀 |
D형 9핀 양커넥터; O형 3핀 양커넥터 |
D형 15핀 양커넥터 |
D형 9핀 D형 15핀 |
D형 9핀 O형 3핀 |
D형 15핀 |
D형 9핀 D형 15핀 |
D형 9핀 양커넥터; O형 3핀 양커넥터 |
D형 15핀 양커넥터 |
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전원 공급 장치 |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
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자동 제로 |
지원 |
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표면 거친도 |
25μinch Ra |
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표준 조인트 형식 |
듀얼 카드 커버6;듀얼 카드 커버3;듀얼 카드 세트 1/4´;듀얼 카드 세트 1/8´; VCR1/4´양 커넥터; 6 (내) x 1 호스 커넥터;5(내)x1.5 호스 커넥터;4(내)x1 호스 커넥터 |
VCR1/4"양 커넥터 |
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무게 |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |